直径2"から12"のチャックを備えた高品質、高精度、コスト効率の高いマニュアルプローバーです。設置面積が小さく、DC、RF、ミリ波までの研究開発用途に最適です。高温および極低温システム、特殊環境など様々な用途に対応したプローブソリューションを提供可能です。
またシート抵抗率 / 導電率測定用の専用4点プローブも提供可能です。

太陽電池、極低温学、超高温、RF マイクロ波、RF DC バイアスPGP、電力測定、低電流、低静電容量、高電圧、大電流（パワーIC）、AC 信号、フィールド信号、パルスIV、湾曲したウエハ、ナノテクノロジー、バイオチップ、小型パッケージICのリード線、デザインハウス、電動プロービング、シート抵抗率、ホール効果、加圧環境、光の強度と波長、LED / LD / PD 、特定のガス環境、PCB RF マイクロ波、タイムドメイン反射率測定（TDR）、FPC RF マイクロ波、フラットパネルディスプレイ LCD、OLED、フレキシブルAMLCD、AMOLED

600mm x 450mmのサンプルホルダーで、任意の大きさのPCB / LCDをプローブするためのカスタムソリューションを提供します。
DC、RF、mmW、高温などの複数のアプリケーションと統合しご提案可能です。

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EVERBEINGは、2016年に開発された業界初の両面PCBマニュアルプローバーの先駆けとなりました。
これは、デバイスの周囲を最小限の金属で囲み、チップの上下から電力伝播を測定できるオンチップアンテナに最適なソリューションです。

2インチマニュアルプローバー（C-2）、10μm分解能（320mm x 320mm x 320mm）までのクイック2"同軸X-Yステージを備えています。

• マグネットオン / オフベースを備えた2台のEB-700Eマイクロポジショナー
• 2つのスクリュー ナットチップホルダーと10μmプローブチップのパック
• 同軸ライトステージを備えた 140倍光学ズームと2倍デジタルズームを備えたDinolite 5MPデジタル顕微鏡は、
  図に示すように優れた倍率と鮮明さを提供します
• サンプルをステージに保持するための真空ポンプも付属します
• パッケージを受け取ってから1時間以内にテストを開始するために必要なものがすべて揃っています

30年以上にわたるマニュアルプローバーとマイクロポジショナーの製造実績を誇るCシリーズは、世界で最も人気があり、手頃な価格でありながら、精度と再現性を備えた製品の1つです。
このシリーズには6つのモデルがあり、2"チャックから8"のC2、C2-PLUS、C2-RF、C4、C6、C8まであります。
コストを抑えながら、高価格帯のマニュアルプローバーと同水準の、アライメント用の10μm精度のX-Yチャックステージ、硬質クロムメッキのプラテン、真空チャック、防振マウントが標準装備されています。4"以上はチャックアップ / ダウン機能付きです。三眼単ズーム顕微鏡が付属しています。

C-2-RFは、世界最小で最も手頃な価格のRFマニュアルプローバーです。
寸法はわずか360mm x 360mm、重量はわずか26kgで、硬質クロムメッキのプラテン上に4つのRFプローブと2つのDCバイアスプローブを保持できます。
コストを抑えながら、高価格帯のマニュアルプローバーと同水準の、2"の真空チャック、4つの防振マウント、および10μmの精度のX-Yアライメントが装備されています。U字型チャックはDUTとRFキャリブレーション基板を保持します。

EBシリーズマニュアルプローバーは、DC、RF、ファイバー、ミリ波プロービング用に設計されています。装置の重心を低く設計、安定性があり、プローブカードを取り付けることができるように厚いプレートが付属しています。
EBシリーズは4～12"（100～300mm）で利用可能で、デバイスから正確なデータを取得するために使いやすさを向上させる機能が含まれています。
EB-4、EB-6、EB-8、EB-12の4つのモデルがあり、オプションのホットチャック、低ノイズ測定用の標準軸または強化された同軸、三軸絶縁を備えています。

EVERBEINGは、アンリツ、Keysight、Rohde & Schwarz、VDI、OMLなどの主要ブランドの既存のベクトルネットワークアナライザ (VNA)、ウェーブガイド、周波数エクステンダと正確に統合するための一連のミリ波マニュアルプローバーを提供しています。EB-6AとEB-6Vの2つのモデルが用意されており、様々なサイズの導波管と周波数エクステンダーに対応できます。

EB-6Vは、Keysight、Rohde & Schwarz、VDI、OMLミリ波周波数エクステンダーモジュールと連携して動作するように設計されています。

EB-6Aは、アンリツの様々な機器および周波数エクステンダーモジュールと連携して動作するように特別に設計されています。

EVERBEING CG-196 極低温マニュアルプローバーを使用すると、ウエハを真空チャンバー内に置く必要がある極低温温度でのプローブが可能になります。
EVERBEING制御環境マニュアルプローバーでは、液体窒素を使用した77Kまでの真空および極低温プロービング、または1,273Kまでの高温プロービングが可能です。極端な温度、真空、特定のガスなどにおけるデバイスの特性評価を効率的に実行します。

EVERBEING Chamber Plusシリーズの分析マニュアルプローバーは、主力のEBシリーズマニュアルプローバーの拡張です。
Chamber Plusマニュアルプローバーは、酸素のない環境のための密閉環境を提供し、プロービングの極限を実現するファラデーケージエンクロージャとしても機能します。DUTがチャンバー内に密閉されている間も、チャックステージの移動や微細位置決めなど、すべてのプロービング操作を容易に実行できます。

EVERBEING BDシリーズは、当社の最高級マニュアルプローバーです。DCアプリケーションとRFアプリケーションの両方で再現性のある正確な測定を提供するため、強固な機能と基盤となっています。

フォトニック光ファイバーマニュアルプローバーは、テスト対象デバイスDUTへの光ファイバーの柔軟な位置決めを可能にするように設計されています。
ファイバーは垂直から垂直から60度まで正確に位置決め（コースおよび微調整）でき、水平調整も可能です。ピッチまたはシータも±12度0.05度の分解能で調整できます。当社のEB-005マイクロポジショナーを使用すると X、Y、Z 軸で0.7μm（100TPI）または0.35μm（200TPI）の位置決めを提供できます。

2D結晶ヘテロ構造は、1層または数原子層の厚さの結晶から組み立てられ、グラフェンや物理学のような多くの研究分野でますます人気が高まっています。これらの2Dマテリアル構造は、転写システムを使用して組み立てられます。

• 5軸位置決め
• 高出力、長作動距離のモノズーム顕微鏡
• 精密同軸チャックステージ
• チャック回転、±12 度、分解能0.005度
• デバイスの特性評価
• オプションの光ファイバー、DC、RF、ミリ波プローブ
• オプションの加熱チャック
• オプションの防振テーブルまたはテーブルトップ

各システムはカスタム設計または既存のプローブステーションのアップグレードが可能です。
詳細については、お気軽にお問い合わせください。

SR-4 4点プローブシステムは、材料のシート抵抗、抵抗率、導電率を迅速に測定するための使いやすいツールです。既存のソースメジャーユニット（SMU）または電流源および電圧計と組み合わせて使用​​します。

アプリケーション：

• シート抵抗率
• スライス抵抗率
• ドーピングの品質
• メタライゼーションの厚さ
• P/Nの入力
• V/I測定

測定要件：

• Soure Measure Unit（SMU）または別個の電流源および電圧計

仕様：

• チャック径 4″ / 6″ / 8″ テフロン製をご用意
• ヘッド上下10mm
• プロービングZ分解能： 1μm
• プローブピンの材質：炭化タングステン
• プローブピン間隔：40 mil / 50 mil / 62.5 mil
• プローブピンスプリング：45g、85g、180g
• プローブピン半径：40.6μm
• 寸法：220mmW x 420mmD x 250mmH
• 重量：20kg

KSR-4は、人気のEVERBEING SR-4 4点プローブの低価格バージョンです。材料のシート抵抗、抵抗率、導電率を迅速に測定するための使いやすいツールです。既存のソースメジャーユニット（SMU）または電流源および電圧計と組み合わせて使用​​します。または、低コストのSMU 4001ヘッドアップ / ダウン 30mm、プロービング、Z解像度 = 10μmを使用します。

R-2 4探針プローブシステムは、材料のシート抵抗、抵抗率、導電率を測定するための最も単純なデバイスの1つです。既存のソースメジャーユニット（SMU）または電流源および電圧計と組み合わせて使用​​します。標準のピン間隔は1.5mm（62.5ミル）、バネ張力は45gです。

アプリケーション：

• シート抵抗率
• スライス抵抗率
• ドーピングの品質
• メタライゼーションの厚さ
• P/Nの入力
• V/I測定

測定要件：

• ソース測定ユニット（SMU）または別個の電流源および電圧メーター

仕様：

• チャック直径 4″ テフロンあり
• ヘッド上下10mm
• プロービングZ高さ調整
• プローブピンの材質：炭化タングステン
• プローブピン間隔：62.5mil / 1.5mm（オプションで 40mil / 1mm または 50mil / 1.25mm）
• プローブピンのスプリング張力：45g（オプションで85g、180g）
• プローブピン半径：40.6μm
• 接続：4mmバナナプラグ（赤2個、黒2個）
• 寸法：120mmW x 200mmD x 250mmH
• 重量：2kg

分解能0.35μm / 0.70μmで各軸12mmの真の直線運動を実現する高精度マイクロポジショナーより設置面積が大きいため、RFプロービングの安定性とより細かい制御が可能になり、あらゆる用途に合わせて、永久磁石（M）、マグネットオン / オフ（E）、または真空ベース（V）を使用できます。

当社で最も人気のあるマイクロポジショナーは、X-Y-Z各軸で12mmの真の直線運動と1.0μmの分解能を提供します。プレート上での配置と位置決めを容易にするマグネットオン / オフ機能を備えています。標準ブラケットでの使用、または当社の同軸および三軸管状チップホルダーを使用したソフトランディング傾斜での使用に適しています。

当社で最も人気のあるマイクロポジショナーは、0.9μmの分解能でX-Y-Z各軸（±6mm）12mmの真の直線運動を提供します。プレート上での配置と位置決めを容易にするマグネットオン / オフベースを備えた左側バージョンが提供されます。このキットは、低価格を実現するために一般的な仕様で構成されています。同軸管状チップホルダー、1.5mリードBNCプラグ、ソフトランディング機構、ブラケット、ケーブルクリップが付属します。（KIT-EB-050E-80L/R-COAX）

• 精度：0.9μm
• ベースタイプ：マグネットオン / オフ
• 精密リニアベアリング
• トラベル X-Y-Z：12MM x 12MM x 12MM
• 親ねじ：80TPI（1"あたりのねじ山数）
• 360度回転あたり317μm（1度あたり0.9μm）
• バックラッシュゼロ
• 左手バージョン
• 外形寸法：52mm（幅）x 96mm（奥行き）x 76mm（高さ）
• 重量：550g

EB-050 ​シリーズは、あらゆる用途に合わせて永久磁石（M）、マグネットオン / オフ（E）、または真空ベース（V）を備えた左右両バージョンが用意されています。0.7μm分解能の100TPIも用意されています。

EB-050Mマイクロポジショナーは、X-Y-Z各軸で12mmの真の直線運動と1.0μmの分解能を提供します。マグネットベースが付属します。標準ブラケットでの使用、または当社の同軸および三軸管状チップホルダーを使用したソフトランディング傾斜での使用に適しています。

当社のEB-050Vマイクロポジショナーは、X-Y-Z 各軸で12mmの真の直線運動と1.0μm の分解能を提供します。真空ベースが付属します。標準ブラケットでの使用、または当社の同軸および三軸管状チップホルダーを使用したソフトランディング傾斜での使用に適しています。

3.0μmの分解能で各軸12mmの直線運動を行う省スペースのマイクロポジショナーです。マグネットオン/オフ（E）ベースが付属します。

• 精度：3.0μm
• トラベル X-Y-Z：12MM x 12MM x 12MM（標準）
• トラベル X-Y-Z：20MM x 20MM x 20MM（お問い合わせください）
• 親ねじ：40TPI（1"あたりのねじ山数）
• 外形寸法：38mm（幅）x 62mm（奥行き）x 45mm（高さ）
• 重量：200g

永久磁石（EM-700M）または真空ベース（EM-700V）も利用可能です。

3.0μmの分解能で各軸12mmの直線運動を行う省スペースのマイクロポジショナーです。永久磁石（M）ベースが付属します。

• 精度：3.0μm
• トラベル X-Y-Z：12MM x 12MM x 12MM（標準）
• トラベル X-Y-Z：20MM x 20MM x 20MM（お問い合わせください）
• 親ねじ：40TPI（1"あたりのねじ山数）
• 外形寸法：38mm（幅）x 62mm（奥行き）x 45mm（高さ）
• 重量：200g

マグネットオン/オフ（EB-700E）またはバキュームベース（EB-700V）でもご利用いただけます。

ベリリウム銅（BeCu）BC-20シリーズプローブチップは、金およびアルミニウムのソフトコンタクトパッドに適した、再現性の高い接触抵抗を備えています。接触抵抗が低く、100ミリオームを測定する場合は金をプローブとし、200ミリオームを測定する場合はアルミニウムをプローブとします。当社は、DCからRF測定まで、あらゆる範囲のプローブチップのサイズとタイプを提供できます。お客様のご要望に合わせてチップをカスタム曲げすることもできます。

汎用EVERBEINGタングステンプローブチップは、長さ32mm、酸化層の貫通に適したサイズ0.35μm～200μmをご用意しています。低コスト、低接触抵抗、耐久性に優れます。当社は、DCからRF測定まで、あらゆる範囲のプローブチップのサイズとタイプを提供できます。お客様のご要望に合わせてチップをカスタム曲げすることもできます。

金メッキされたソリッドタングステンプローブチップは接触抵抗を低減し、ソフトまたは金のコンタクト / パッドのプローブに使用されます。
当社は、DCからRF測定まで、あらゆる範囲のプローブチップのサイズとタイプを提供できます。お客様のご要望に合わせてチップをカスタム曲げすることもできます。

プローブチップホルダーは、マイクロポジショナーとプローブチップの間の機構です。当社では、機構はスクリューナット、ネジ、スプリングを提供しています。電気的接続は標準、同軸、3軸の3種類があります。チップとチップホルダーはマイクロポジショナーX-Y-Zつまみネジによって同時に駆動されます。

チューブラータイプのチップホルダーです。銅チューブを使用してプロービングチップを保持し、電気シールドを提供します。チップ保持チューブとシールドチューブの間には絶縁層があります。同軸または3軸ケーブルとコネクタを選択できますが、EB-700マイクロポジショナーでこれらを使用することはお勧めできません。チューブラーチップホルダーはショート（6cm）またはロング（12cm）でご利用いただけます。

高圧チューブラータイプのチップホルダーです。チップホルダーは最大3kVまでシールドされています。Keithley 2657 高電圧 SMU または Keithley 4200 で使用する Keithley 2657 SHV-CA-553 ケーブルを使用して製造されています。
詳細スペックについては、お気軽にお問い合わせください。

KeithleyおよびKeysightの三軸プローブおよびリード線をパラメトリック・アナライザに接続するのに適したパフォーマンス・アダプタです。ガードを取り外した、オスの3軸とメスのBNCアダプターです。BNCケーブルを3ラグトライアキシャルコネクタを備えた機器に接続するために使用されます。
A52-3アダプタには、3軸インナーシェル用のスルー接続がありません。これにより、BNCシェルに存在するガード電源からの危険な電圧が防止されます。

EVERBEINGホットチャックは、テスト対象のデバイスを最大700°Cまで加熱できます。チャックのサイズと実験に必要な最高温度に応じて選択範囲が異なります。

• チャックサイズ：2"、4"、6"、8"、12"
• 温度範囲℃ 100 / 200 / 300 / 400 / 500 / 600 / 700
• 温度精度 +/- 0.5°C
• ステンレスチャック
• 水冷タンク（オプション）

EVERBEINGは、サンプルDUTを指定温度に加熱し、チラー回路を使用する場合は1°C未満に制御するための円形および角形のホットチャックも幅広く提供しています。2"（50mm）から8"（200mm）までの様々なサイズがあり、標準的な円形または正方形で提供されます。

非常に低い電流の測定には、同軸または三軸絶縁キットを提供できます。石英またはセラミックを安全な絶縁層として使用してチャックを持ち上げ絶縁します。熱はチャック表面まで伝わり、電圧破壊がコイルに漏れるのを防ぎます。これらをシールドボックス、トライアキシャルケーブル、防振テーブルと併用すると、約10fAまでの測定が可能になります。

EVERBEING防振装置は四隅にエアクッションを装備しています。各エアクッションにはオートレベラーが付属しており、エアクッションの高さを自動制御できます。高すぎる場合、オートレベラーはあらかじめ設定された高さになるまでエアクッションから過剰な空気を排出します。低すぎる場合、オートレベラーは事前に設定された高さまでエアクッションに十分な空気を供給します。2Hz以上の振動源を制御し、オペレーターが不用意に手や体に当たることを防ぐためのガードレールが付属しています。必要なエアーは100psiです。

EVERBEINGシールドボックスまたはダークエンクロージャは、周囲光や室内の迷走電気信号からの干渉を軽減することで、低電流 / 電圧測定を向上させるのに役立つ追加機能です。ケーブルと真空管用の背面開口部に使用します。BNCおよびTriaxailアダプター用のサイドパネルが2つまたは3つあります。各パネルには8つのカットアウトがあるため、ご要望に応じてアップグレードできます。防振テーブルに固定することもできます。

6種類のサイズが用意されています。詳細については、お気軽にお問い合わせください。