UVAT Technology
プラズマ真空装置

エレクトロニクス設備

（当社はUVAT Technology Co., Ltd社の日本総代理店です。）　　　　 半導体先端パッケージ、Fan-Out WLP, Fan-Out PLP、FC-BGAサブストレート用途向けに 真空装置各種をご提案します。 めっき前デスカム、レーザー後デスミア、絶縁層全面エッチング、Ti/Cuシード層ドライエッチング、 Pdドライエッチング、プラズマドリルによるトレンチ、ビア形成、Ti/Cuスパッタ、EMIシールドスパッタ 国外大手の半導体メーカー、サブストレートメーカー、OSAT、ファウンダリーに豊富な実績があります。